半導(dǎo)體行業(yè)景氣度依舊火熱，缺芯問(wèn)題仍在延續(xù)。鴻海、中芯國(guó)際、瑞薩等多家廠商預(yù)計(jì)芯片短缺問(wèn)題將至少在2022年中開(kāi)始緩解，英特爾、意法半導(dǎo)體則認(rèn)為芯片短缺問(wèn)題將持續(xù)至2023年。

晶圓廠正在大舉擴(kuò)產(chǎn)。國(guó)內(nèi)方面，中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、青島芯恩、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、華潤(rùn)微、士蘭微等未來(lái)幾年都將大規(guī)模擴(kuò)充產(chǎn)能。

晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)帶來(lái)了大量半導(dǎo)體設(shè)備需求。數(shù)據(jù)顯示，晶圓制造設(shè)備占半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的80%，占據(jù)晶圓制造產(chǎn)線投資的80%。在晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備需求旺盛。半導(dǎo)體設(shè)備交期不斷延長(zhǎng)。

不過(guò)，目前半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)主要由美國(guó)、日本廠商主導(dǎo)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率僅在10%-20%左右。隨著半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化訴求逐步增強(qiáng)，中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華潤(rùn)微、聞泰科技等國(guó)內(nèi)晶圓廠在新增產(chǎn)能建設(shè)過(guò)程中積極導(dǎo)入國(guó)產(chǎn)設(shè)備，極大拉動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求。

根據(jù)通聯(lián)數(shù)據(jù)Datayes！，2018-2020年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額分別為131億、134.5億、187.3億美元，2021年上半年，這一數(shù)字達(dá)到141.8億美元。

11月4日，第一財(cái)經(jīng)走訪國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體濕法設(shè)備龍頭至純科技（603690.SH）上海總部，與至純科技董事長(zhǎng)蔣淵就公司業(yè)務(wù)發(fā)展等問(wèn)題進(jìn)行交流。

半導(dǎo)體濕法設(shè)備累計(jì)訂單超160臺(tái)

至純科技2000年成立，從高純工藝系統(tǒng)起步，逐步拓展了BU1-5五個(gè)事業(yè)部，分別開(kāi)展?jié)穹ㄔO(shè)備/晶圓再生、高純工藝系統(tǒng)、先進(jìn)工藝材料、生物制藥工藝、光傳感及光器件業(yè)務(wù)。

2020年年報(bào)顯示，公司高純工藝集成系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備和光傳感及光器件的營(yíng)收分別為8.63億、2.18億、3.15億元，收入占比分別為61.79%、15.59%、22.52%。其中光傳感及光器件毛利率水平最高，達(dá)到55.33%。

至純科技提供的濕法設(shè)備包含濕法槽式清洗設(shè)備及濕法單片式清洗設(shè)備，主要應(yīng)用于集成電路、微機(jī)電系統(tǒng)、平板顯示等領(lǐng)域。

“在國(guó)產(chǎn)化的政策紅利之下，用戶(hù)正比以往任何時(shí)候都推動(dòng)使用本土的設(shè)備。”蔣淵對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，現(xiàn)在真正被用戶(hù)認(rèn)可的半導(dǎo)體設(shè)備廠都是不缺訂單的，主要的瓶頸在于產(chǎn)能。

目前全球市場(chǎng)主要的濕法設(shè)備廠商以日本和歐美為主，國(guó)內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美半導(dǎo)體。國(guó)內(nèi)廠商的市場(chǎng)占比逐年上升，當(dāng)前濕法清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率約達(dá)20%。至純科技是國(guó)內(nèi)能提供到28納米節(jié)點(diǎn)全部濕法工藝設(shè)備的本土供應(yīng)商。

據(jù)了解，濕法設(shè)備國(guó)內(nèi)每年的市場(chǎng)需求大約在15億-22億美元。“今年至純科技濕法設(shè)備營(yíng)收目標(biāo)超過(guò)一億美元。”

2020年，至純科技單片濕法設(shè)備和槽式濕法設(shè)備全年出機(jī)超過(guò)了30臺(tái)，較2019年增長(zhǎng)50%。同時(shí)單片式濕法設(shè)備新增訂單金額超過(guò)3.6億元，同比增長(zhǎng)112%。產(chǎn)品覆蓋28nm以上全部制程節(jié)點(diǎn)。

“28納米全部工藝我們都拿到了訂單，今年12月預(yù)計(jì)能夠全部交付客戶(hù)。”蔣淵對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，“今年四季度預(yù)計(jì)能夠確認(rèn)收入。14-7nm也拿到了4臺(tái)訂單。”

至純科技從2015年開(kāi)始做濕法設(shè)備，2017年將濕法設(shè)備作為單獨(dú)的BU開(kāi)始運(yùn)行。“2015年至今約七年的時(shí)間里，我們已經(jīng)拿到超160臺(tái)訂單了。”蔣淵對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，“現(xiàn)在已經(jīng)不止這個(gè)數(shù)字了。”

近日，在濕法設(shè)備已耕耘十幾年的盛美半導(dǎo)體在其官方公眾號(hào)上表示，10月18日盛美半導(dǎo)體濕法設(shè)備2000腔順利交付，累計(jì)出貨超過(guò)300臺(tái)設(shè)備。

產(chǎn)能方面，至純科技的半導(dǎo)體濕法設(shè)備主要由至純?nèi)毡九c江蘇啟東兩地開(kāi)展。江蘇啟東廠區(qū)目前仍處于產(chǎn)能爬坡階段，計(jì)劃達(dá)產(chǎn)后產(chǎn)能為年產(chǎn)96臺(tái)。

客戶(hù)方面，目前至純科技濕法設(shè)備主要客戶(hù)包括中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華為、華潤(rùn)、燕東、臺(tái)灣力晶等。

“在供應(yīng)鏈方面，我們也在多備一些庫(kù)存。我們的設(shè)備明年底零部件的國(guó)產(chǎn)化率預(yù)計(jì)在80%左右。”

“我們非常在意單個(gè)用戶(hù)的復(fù)購(gòu)”

晶圓再生業(yè)務(wù)是濕法工藝的延伸，主要用于測(cè)試片晶圓的重復(fù)利用。伴隨硅片用量的持續(xù)增長(zhǎng)和價(jià)格上漲，晶圓再生需求旺盛。而當(dāng)前國(guó)內(nèi)供應(yīng)商份額不足10%。至純合肥工廠是中國(guó)首個(gè)量產(chǎn)12英寸再生晶圓的工廠，建成后預(yù)計(jì)將形成年產(chǎn)168萬(wàn)片的晶圓再生產(chǎn)能。

“晶圓再生的產(chǎn)能還在慢慢爬坡，今年7月開(kāi)始量產(chǎn)，今年預(yù)計(jì)能有兩個(gè)月的產(chǎn)能，11月份開(kāi)始形成收入。”蔣淵表示，晶圓再生業(yè)務(wù)和腔體再生業(yè)務(wù)均達(dá)產(chǎn)后，年產(chǎn)值預(yù)計(jì)能夠達(dá)到6億元。

高純工藝系統(tǒng)是晶圓廠建設(shè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施，承擔(dān)化學(xué)品儲(chǔ)存和輸送的作用，約占晶圓廠建廠成本的8%。泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的面板、光伏、LED，以及光纖、生物制藥等行業(yè)亦有廣泛的高純工藝系統(tǒng)需求。

目前，高純工藝系統(tǒng)業(yè)內(nèi)龍頭主要為美、日廠商等，國(guó)內(nèi)廠商起步較晚。

2020年，至純科技系統(tǒng)業(yè)務(wù)收入8.63億元，毛利率為31.76%，并擁有上海華力、中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微、西安三星、無(wú)錫海力士等眾多行業(yè)一線客戶(hù)，2020年所有核心客戶(hù)均給予了持續(xù)的重復(fù)訂單。

“我們至純非常在意單個(gè)用戶(hù)的復(fù)購(gòu)，高純工藝系統(tǒng)我們已經(jīng)有大量的用戶(hù)復(fù)購(gòu)。濕法設(shè)備雖然起步晚，但基于一貫的至純的務(wù)實(shí)專(zhuān)業(yè)的作風(fēng)，也在往這個(gè)趨勢(shì)去；我們特別關(guān)注單個(gè)用戶(hù)全線購(gòu)買(mǎi)至純的濕法設(shè)備。”蔣淵表示，目前有兩個(gè)芯片制造廠的新線中濕法設(shè)備大部分購(gòu)買(mǎi)了至純的設(shè)備，有少量幾臺(tái)購(gòu)買(mǎi)了日本廠商的。

此外，2018年至純科技收購(gòu)波匯科技100%股權(quán)進(jìn)入光傳感領(lǐng)域。

據(jù)中國(guó)電子元件行業(yè)協(xié)會(huì)信息中心的數(shù)據(jù)，中國(guó)光傳感器市場(chǎng)規(guī)模達(dá)778億元，約占全球市場(chǎng)規(guī)模的57%，預(yù)計(jì)到2020年將達(dá)到1180億元，占比進(jìn)一步上升至64%。

“布局光電子領(lǐng)域，主要是出于平滑周期的考慮。”蔣淵對(duì)第一財(cái)經(jīng)表示，“半導(dǎo)體雖然近年來(lái)發(fā)展得非常快，但是它還是一個(gè)周期性行業(yè)，只是這次是一個(gè)長(zhǎng)周期，可能還有8-10年的高增長(zhǎng)期。但我們不能把所有的業(yè)務(wù)都放在半導(dǎo)體上。而光傳感領(lǐng)域和高純工藝系統(tǒng)有很好的協(xié)同作用，本身作為下游又有自己廣闊的發(fā)展空間。”

研發(fā)方面，至純科技研發(fā)投入總額占營(yíng)業(yè)收入比例為10.76%，與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭企業(yè)中微公司（28.14%）、北方華創(chuàng)（26.56%）相比，研發(fā)投入力度較小。對(duì)此，蔣淵表示，“至純將資源盡量?jī)A斜在濕法設(shè)備中。我們投入的都是自有資金，未來(lái)研發(fā)力度會(huì)隨著我們資源變多而加大。未來(lái)也會(huì)和我們的用戶(hù)一起做研發(fā)。”

10月18日晚，至純科技披露，公司控股子公司至微科技擬通過(guò)增資擴(kuò)股引入戰(zhàn)略投資者并進(jìn)行部分股權(quán)轉(zhuǎn)讓?zhuān)敬卧鲑Y方包括大基金二期及其相關(guān)基金。

“不光是大基金，中芯聚源也投了我們。這意味著中芯的核心產(chǎn)業(yè)鏈也會(huì)和我們有很多合作機(jī)會(huì)。”蔣淵表示。

標(biāo)簽： 至純